碳化硅（SiC）
[SCP・HEXOLOY]
碳化硅（SiC）是我司最擅长的材料。拥有专用大型真空炉，可生产1m见方的产品。此外，新增了HEXOLOY系列，并增加了小批量生产，大尺寸，连接等技术。
- 高温机械强度
- 耐磨耗性
- 高热传导性
- 耐腐蚀性
主要用途
- 滑动部件（机械密封、化工泵轴承、轴）
- 粉碎机部件（分级机、气流粉碎机、砂磨机）
- 半导体制造设备部件（XY平台、MOCVD托盘、聚焦环、晶圆夹盘）
- 成型机部件（相机镜头成型机部件）
- 耐热部件（燃烧器喷嘴、高温试验机部件、熔融金属用坩埚）
- 耐磨部件（喷砂机喷嘴、喷丸机抛丸机叶片、埋地管道保护板、钓具导向环）
特点
碳化硅是一种黑色陶瓷，和其他的精密陶瓷相比，在高温环境（1000℃以上）中机械强度降低幅度小、耐磨耗性高。
因其强共价键，在各种精密陶瓷材料中硬度最高、耐腐蚀性优异、在液体中的滑动特性良好。
利用这些特点，使用在机械密封、化工泵轴承等方面。此外，也可用于半导体生产设备的晶圆叉等。
粘合技术
独家技术可将碳化硅产品互相粘合，从而生产出有内部流路或内部镂空的轻量化产品。和传统的粘接剂的粘结相比、强度、可靠性、热传导率性能大幅提升，并且不会产生脱气。
碳化硅
| 型号 | 特点 | 密度 | 杨氏弹性模量 | 弯曲强度 | 断裂韧性 | 热膨胀系数 | 热传导率 | 体积电阻 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| [g/cm3] | [GPa] | [MPa] | [MPa・m1/2] | [×10-6/K] | [W/m・K] | [Ω・cm] | ||
| SCP01 | 耐腐蚀 高硬度 |
3.1 | 430 | 490 | 3 | 3.1 | 140 | 104 |
| SCP02 | 高热传导 高电阻 |
3.1 | 430 | 490 | 3 | 3.1 | 170 | 106 |
| SCP03 | 高强度 气孔小 |
3.1 | 435 | 700 | 3 | 3.1 | 130 | － |
| HEXOLOY-SA | 量产 接合 |
3.1 | 410 | 450 | 2 | 4.2* | 160 | 106～1011 |
| HEXOLOY-SP | 滑动特性 | 3.0 | 380 | 240 | － | 4.2* | 160 | 106～1011 |
热膨胀系数为RT～200℃时的测量数据。*：热膨胀系数为RT～700℃时的测量数据。
上述特性值不是保证值。特性值如有改良时，恕不另行通知。
HEXOLOY 是 SAINT-GOBAIN公司的注册商标。
