基板特性表

基板名称		99.9% 氧化铝基板	99.5% 氧化铝基板	96% 氧化铝基板	氧化锆基板 Ceraflex®－A	氧化锆基板-3Y	氧化锆基板 Ceraflex®－8Y	氧化锆基板-8Y	氮化铝基板	介质基板			合成熔融 石英基板
材质		99.9%Al2O3	99.5%Al2O3	96%Al2O3	3Y－ZrO2		8Y－ZrO2		AlN	－			SiO2
密度 Density [ g/ ㎤ ]	JISR1634	3.9	3.9	3.8	6.0	6.0	5.8	5.8	3.3				2.2
弯曲强度 Flexural Strength [MPa]	25℃ JISR1601	660	440	300	1200	1200	250	250	330	－	－	－	60
线膨胀系数 Linear Expansion Coefficient [1/K]	25～800℃ JISR1618	8× 10－6	8× 10－6	8× 10－6	1.1× 10－5	1.1× 10－5	1.0× 10－5	1.0× 10－5	4.6× 10－6	－	－	－	0.5× 10－6
热传导率 Thermal Conductivity [W/m・K]	25℃ JISR1611	33	32	23	3.2	2.9	1.9	1.9	170 200 230 可选	－	－	－	1.4
杨氏弹性模量 Young's Modulus [GPa]	JISR1602	390	380	340	210	210	－	－	330	－	－	－	－
泊松比 Poisson's Ratio [ － ]	－	0.25	0.25	0.23	0.31	0.31	－	－	0.24	－	－	－	－
相対介电常数 Dielectric Constant [ － ]	25℃ 1MHz	－	－	9.6	30	32	25	25	8.8	－	86	118	3.77
	25℃ 10GHz	10	9.8	－	－	－	－	－	－	38	－	－	－
介质损耗 Dissipation Factor [ － ]	25℃ 1MHz	－	－	2 × 10－4	4 × 10－3	2.5 × 10－3	4 × 10－3	4.5 × 10－3	5 × 10－4	－	2.5 × 10－3	2.5 × 10－3	1 × 10－4
	25℃ 10GHz	2 × 10－5	3 × 10－5	－	－	－	－	－	－	3.3 × 10－4	－	－	－
体积电阻 Volume Resistivity [Ω・cm]	JISC2141	1015	1015	1014	1012	1012	1012	1012	1012	1012	1012	1012	1016
※ 表面粗糙度 Ra （As fired） Surface Roughness [μm]	－	0.03	0.1	0.3	0.1	0.1	0.1	0.1	－	－	－	－	－
厚度 Thickness [mm]	－	0.1～0.38	0.5～1.0	0.635 0.8 1.0	0.3～0.8	0.05～0.3	0.3～0.8	0.1～0.3	－	－	－	－	－
基板名称		99.9% 氧化铝基板	99.5% 氧化铝基板	96% 氧化铝基板	氧化锆基板 Ceraflex®－A	氧化锆基板-3Y	氧化锆基板 Ceraflex®－8Y	氧化锆基板-8Y	氮化铝基板	介质基板			合成熔融 石英基板

上述以外的尺寸、厚度请和我们联系协商。 此外，本公司的独特加工技术，可提供Ra＝0.02μm以下的镜面加工。
※表面粗糙度的数值请参考上表。
上述特性值不是保证值。特性值如有改良時，恕不另行通知。