基板特性表

基板名		99.9% アルミナ基板	99.5% アルミナ基板	96% アルミナ基板	ジルコニア基板 セラフレックス®－A	ジルコニアー3Y	ジルコニア基板 セラフレックス®－8Y	ジルコニアー8Y	窒化アルミニウム基板	誘電体基板			合成溶融 石英基板
材質		99.9%Al2O3	99.5%Al2O3	96%Al2O3	3Y－ZrO2		8Y－ZrO2		AlN	－			SiO2
密度 Density [ g/ ㎤ ]	JISR1634	3.9	3.9	3.8	6.0	6.0	5.8	5.8	3.3	5	4.48	4.25	2.2
曲げ強度 Flexural Strength [MPa]	25℃ JISR1601	660	440	300	1200	1200	250	250	330	－	－	－	60
線膨張係数 Linear Expansion Coefficient [1/K]	25～800℃ JISR1618	8 × 10－6	8 × 10－6	8 × 10－6	1.1 × 10－5	1.1 × 10－5	1.0 × 10－5	1.0 × 10－5	4.6 × 10－6	－	－	－	0.5 × 10－6
熱伝導率 Thermal Conductivity [W/m・K]	25℃ JISR1611	33	32	23	3.2	2.9	1.9	1.9	170/200/230 選択可	－	－	－	1.4
ヤング率 Young's Modulus [GPa]	JISR1602	390	380	340	210	210	－	－	330	－	－	－	－
ポアソン比 Poisson's Ratio [ － ]	－	0.25	0.25	0.23	0.31	0.31	－	－	0.24	－	－	－	－
比誘電率 Dielectric Constant [ － ]	25℃ 1MHz	－	－	9.6	30	32	25	25	8.8	－	86	118	3.77
	25℃ 10GHz	10	9.8	－	－	－	－	－	－	38	－	－	－
誘電正接 Dissipation factor [ － ]	25℃ 1MHz	－	－	2 × 10－4	4 × 10－3	2.5 × 10－3	4 × 10－3	4.5 × 10－3	5 × 10－4	－	2.5 × 10－3	2.5 × 10－3	1 × 10－4
	25℃ 10GHz	2 × 10－5	3 × 10－5	－	－	－	－	－	－	3.3 × 10－4	－	－	－
体積固有抵抗 Volume Resistivity [Ω・cm]	JISC2141	1015	1015	1014	1012	1012	1012	1012	1012	1012	1012	1012	1016
※ 表面粗さ Ra （As fired） Surface Roughness [μm]	－	0.03	0.1	0.3	0.1	0.1	0.1	0.1	－	－	－	－	－
厚み Thickness [mm]	－	0.1～0.38	0.5～1.0	0.635 0.8 1.0	0.3～0.8	0.05～0.3	0.3～0.8	0.1～0.3	－	－	－	－	－
基板名		99.9% アルミナ基板	99.5% アルミナ基板	96% アルミナ基板	ジルコニア基板 セラフレックス®－A	ジルコニアー3Y	ジルコニア基板 セラフレックス®－8Y	ジルコニアー8Y	窒化アルミニウム基板	誘電体基板			合成溶融 石英基板

その他のサイズ、厚みについては別途御相談に応じます。
独自の研磨加工技術により表面粗さRa=0.02μm以下の鏡面加工も可能です。※ 表面粗さについては表側の値となります。
上記特性値は保証値ではありません。特性値は改良のため予告なく変更することがございます。