アルミナ Al2O3
[ALP・ハロックス]
アルミナ（Al2O3）はファインセラミックスの中で最もポピュラーな材質です。 純度99.5%と99.9%のALPシリーズに加えて、新たにハロックスがラインナップされました。
- 電気絶縁性
- 耐摩耗性
- 耐熱性
- 耐食性
- 耐プラズマ性
主な用途
- 半導体製造装置部品（チャンバー部品、絶縁フランジ、エッチング装置部品、ウェハーチャック）
- 粉砕機部品（分級機、気流式粉砕機、ビーズミル）
- 一般産業用部品（レーザー加工機用ノズル、シャフト、軸受け）
- 高精度用、精密用、耐熱用治工具（位置決め治具、組立治具）
- 耐摩耗部品（伸線機ガイドローラー、糸道、レール、ガイド）
- 電気絶縁部品（絶縁碍子、スペーサー、ブッシュ）
特長
アルミナは白色または乳白色のセラミックスで、その良好な電気絶縁特性を生かして、早くから電気部品に応用されており、使用量が多く、ファインセラミックスの中では最も安価な材質です。弊社では純度99.5%のALP01、純度99.9%のALP02、純度99.8%のハロックスをラインナップしています。大型製品の製造も可能で、特に高純度のALP02は曲げ強度が高く、耐食性に優れています。また耐プラズマ性にも優れていることからＣＶＤ装置やエッチング装置の部品にも使用されています。
アルミナ
| 型番 | 特長 | 密度 | ヤング率 | 曲げ強度 | 破壊靱性 | 熱膨張係数 | 熱伝導率 | 体積固有抵抗 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| [g/cm3] | [GPa] | [MPa] | [MPa・m1/2] | [×10-6/K] | [W/m・K] | [Ω・cm] | ||
| ALP01 アルミナ99.5% |
汎用 高剛性 |
3.9 | 370 | 440 | 4 | 6.3 | 33 | ＞1014 |
| ALP02 アルミナ99.9% |
高純度 高剛性 |
3.9 | 370 | 500 | 3 | 6.3 | 30 | ＞1014 |
| ハロックス (H580) アルミナ99.8% |
汎用 大型 |
3.9 | 380 | 350 | 4 | 8.0* | 30 | ＞1014 |
熱膨張係数はRT～200℃時の測定データです。但し＊はRT～800℃時の測定データです。
上記特性値は保証値ではありません。特性値は改良のため予告なく変更することがございます。
