その他材料の特性表

材質	AlN		サファイヤ
材質品番	N-200	助剤レス
密度 Density [g/cm3]	3.32	3.32	3.97
曲げ強度 Flexural Strength [MPa]	400	350	1035
硬度 Vickers Hardness [GPa]	13	13	1900
ヤング率 Young's Modulus [GPa]	ー	ー	425
熱膨張係数　~500℃ Thermal Expansion [×10－6/K]	4.5	4.5	8.8
熱伝導率 Thermal Conductivity [W/m・K]	33	30	3
耐熱衝撃性 Thermal Shock Resistance [K]	200	90	40
体積固有抵抗 Volume Resistivity [Ω・cm]	>1014	>1014	>1012
特長	高熱伝導 耐プラズマ性 均熱性	高熱伝導 耐プラズマ性	高強度 耐薬品性
用途	ヒートシンク サセプター各種 均熱版 真空チャック	半導体製造装置部品 耐プラズマ性部品	半導体製造装置部品 耐プラズマ性部品 耐摩耗部品

上記特性値は、保証値ではありません。特性値は改良のため、予告なく変更することがございます。