半導体／液晶

エッチング装置

チャンバｰ・突き上げピン・フォｰカスリング

• アルミ/SiC複合材料（鋳造法）
  [SA301・SA401]
• アルミ/SiC複合材料（浸透法）
  [SA701]
• シリコン/SiC複合材料（浸透法）
  [SS501・SS701・SS702]
• 炭化ケイ素 SiC
  [SCP・ヘキサロイ]
• アルミナ Al₂O₃
  [ALP・ハロックス]
• ジルコニア強化アルミナ
  [ハロックスーZ]

CVD装置

成膜用トレｰ・成膜用カバｰ・MOCVD用トレｰ

• アルミ/SiC複合材料（鋳造法）
  [SA301・SA401]
• アルミ/SiC複合材料（浸透法）
  [SA701]
• シリコン/SiC複合材料（浸透法）
  [SS501・SS701・SS702]
• 炭化ケイ素 SiC
  [SCP・ヘキサロイ]
• アルミナ Al₂O₃
  [ALP・ハロックス]
• ジルコニア強化アルミナ
  [ハロックスーZ]

露光装置

XYステｰジ・チャック・ハンド

• アルミ/SiC複合材料（鋳造法）
  [SA301・SA401]
• アルミ/SiC複合材料（浸透法）
  [SA701]
• シリコン/SiC複合材料（浸透法）
  [SS501・SS701・SS702]
• 炭化ケイ素 SiC
  [SCP・ヘキサロイ]
• 窒化ケイ素 Si₃N₄
  [SNP]
• アルミナ Al₂O₃
  [ALP・ハロックス]
• ジルコニア強化アルミナ
  [ハロックスーZ]

その他

アニｰル装置・ワイヤｰボンダｰ

• アルミ/SiC複合材料（鋳造法）
  [SA301・SA401]
• 炭化ケイ素 SiC
  [SCP・ヘキサロイ]
• 窒化ケイ素 Si₃N₄
  [SNP]
• アルミナ Al₂O₃
  [ALP・ハロックス]
• ジルコニア強化アルミナ
  [ハロックスーZ]